Perfilometría
Esta unidade conta cunha serie de instrumentos que nos permiten inspeccionar e estudar a topografía superficial de calquer obxecto sólido de interés. Dentro da información máis relevante que podemos extraer están os parámetros cuantitativos que definen a rugosidade, así como proporcionar información metrológica das mostras e obter imáxes 3D con precisión nanométrica.
A Unidade conta cos seguintes instrumentos:
1. Perfilómetro·3D Óptico Interferométrico:
- O microscopio interferométrico permite a caracterización e cuantificación da rugosidade superficial, medición de alturas, dimensións críticas e outras características topográficas.
- O equipo permite aplicar dous tipos de técnicas diferentes segundo sexan as características das mostras. A técnica VSI aplícase as mostras máis rugosas, mentres que a técnica PSI aplícase a mostras de moi baixa rugosidade, planas, puídas e cun acabado superficial tipo espello.
- Todas as medidas son non destrutivas, rápidas e non requiren ningún tipo de preparación das mostras.
2. Perfilómetro 3D de agulla:
- O perfilómetro consta dun Cabezal de medida o cal ten unha punta móbil (diamante) que se pon en contacto coa mostra. O porta-mostras motorizado desprázase lentamente de forma que a punta percorre a superficie de interese aplicando sobre ela unha forza constante.
- O movemento vertical da punta é medido eléctricamente é convertido a un formato dixital. Calquera mostra cunha superficie razoablemente “dura” pode medirse nun rango de desprazamento vertical que no mellor dos casos alcanza unha resolución de 1 Å.
- É posible medir espesores de capas delgadas, altura de cráteres, e calquera outra característica ou detalle topográfico de interese na superficie. Ademais de determinar e calcular os parámetros que definen a rugosidade.
3. Perfilómetro 3D Óptico de Variación de Foco:
- Permite medir a rugosidade proporcionando imaxes en cor con alto contraste e profundidade de enfoque. O marco robusto e a tecnoloxía intelixente da iluminación proporcionan unha medida rápida e de alta resolución, sendo un sistema de medición particularmente atractivo debido á súa eficacia, velocidade e ampla gama de aplicacións. As medicións lógranse en cuestión de segundos, e as características, como láser coaxial para un enfoque fácil, melloran a súa usabilidade.
Equipamento instrumental
PERFILÓMETRO INTERFEROMÉTRICO NT 1100, FABRICANTE: WYKO/VEECO
Características técnicas:
• Mapas en 2 e 3 dimensións da superficie
• Obxectivos de 5X, 20X e 50X e lentes intermedias de Field of View de 0.5X, 1X e 2X, que permiten medir áreas desde 44 X 58 μm2 ata 1.8 X 2.4 mm2, sen utilizar o módulo de stitching
• Resolución vertical:
◦ Modo PSI: Rango de medida: 160 nm / Resolución vertical (Mono medida): 3 Å / Resolución vertical (Multimedida): 1 Å
◦ Modo VSI: Rango de medida: 2 mm / Resolución vertical (Mono medida): 3 nm / Resolución vertical Multimedida): 1 nm
PERFILÓMETRO 3D DE AGULLA ALTA RESOLUCIÓN DEKTAK XT, FABRICANTE BRUKER
Características técnicas:
• Mapas en 2 e 3 dimensións da superficie
• Opcións de punta: radios desde 50 nm a 25µm / High Aspect Ratio (HAR) 10µmx2µm e 200µmx20µm
• Software: Vision 64, operación e análise
• Sistema de illamento de vibracións
• Grosor máximo de mostra: 50mm
• Máximo tamaño de oblea: 200mm
• Rango vertical: 1mm
• Resolución vertical: 1Å máx.
• Alturas desde 100 Å ata aprox. 65 μm
• Lonxitude máxima de varrido 55 mm
• Forza aplicada pola punta: 0.03 a 15 mg
• Obxectivo de baixa magnificación para controlar o posicionamento da punta
PERFILÓMETRO 3D DE VARIACIÓN DE FOCO INFINITEFOCUS SL, FABRICANTE: ALICONA
Características técnicas
• Principio de Medición: Sen contacto, óptico, tridimensional, baseado en Focus-Variation
• Rango de desplazamiento (XYZ): 50 mm x 50 mm x 155 mm
• Obxectivos: 10X, 50X
• Distancia de Traballo: 17.5 mm, 10.1 mm
• Campo de Medición Lateral (X,Y): 2 mm, 0.4 mm
• Resolución Vertical: 100 nm, 20 nm
• Precisión (paso altura) (1 mm): n.a., 0.05 %
• Max. Área medible: 2500 mm², 2500 mm²
• Min. Rugosidade medible (Ra): 0.3 µm, 0.08 µm
• Min. Rugosidade medible (Sa): 0.15 µm, 0.05 µm
• Min. Radio medible: 5 µm, 2 µm
Accesorios:
• Polarizador
• Soporte axuste de coitelas a 45°
Aplicacións
Mecanizado e fabricación de precisión dentro dos mercados automotriz / aeroespacial, LED de alto brillo, solar, de semiconductores e dispositivos médicos, etc.
Inspección de película delgada (espesor de película preciso e medidas de tensión), análise solar de seguimento (redución dos custos de fabricación), microfluídica (verificación de deseño e rendemento), verificación de rugosidade superficial (asegurar o rendemento), etc.
Medicións trazables que combinan alta resolución, alta repetibilidad e alta precisión. Todas as características de superficie relevantes mídense utilizando só un sensor de medición multifuncional.
Medida de forma e rugosidade, medida de flancos empinados, medida de forma completa con Real 3D.
Requisitos das mostras
As mostras deben estar en correctas condicións e por tanto non deben presentar restos de graxas, aceites, ou calquera composición que poñan en perigo a integridade do equipamento e deben ser non tóxicas ou daniñas.
A petición do solicitante as mostras poderán ser conservadas a temperatura ambiente (20 °C), en neveira (4 °C) ou conxelador (-18 °C) dependendo da súa estabilidade térmica.
Á finalización dos traballos, procederase á devolución das mostras ao solicitante no modo indicado por este na solicitude de servizo específica, se así fose requirido. As mostras non entregadas aos/as usuarios/as, conservaranse no Servizo polo período máximo dun ano. Pasado este tempo, as mostras serán eliminadas como residuos de laboratorio.
No caso do Perfilómetro de Agulla as mostras non deben exceder os 50 mm de grosor, e un tamaño de 200 mm.
Máis información
Carmen Serra Rodríguez – Tatiana Padín Gómez – Paula Barbazán Martín
+34 986 813 882 – Fax: 986 812 135
cserra@uvigo.es – tatiana.padin@uvigo.es – pbarbazan@uvigo.es