Elipsometría
A elipsometría é unha técnica óptica empregada na análise de superficies. Baséase na medición da variación do estado de polarización da luz despois da reflexión sobre unha superficie plana. As principais vantaxes da elipsometría son o seu carácter non destrutivo, a sinxeleza na preparación de mostras para a súa análise, alta sensibilidade, gran rango de medida e reproductibilidade.
A elipsometría espectroscópica permite a medida de estruturas complexas como multicapas, interfases e heteroxeneidades.
O CACTI ten un sistema que avalía tanto o espesor como as propiedades ópticas de películas delgadas soportadas sobre un substrato (índice de refracción e extinción). Con base na tecnoloxía de modulación de fases, este elipsómetro ofrece medidas de alta precisión e alta resolución cunha excelente relación sinal-ruído. Ademais, a automatización completa, a dispoñibilidade dunha gran variedade de accesorios e unha óptica micro-spot integrada, fan deste equipo un instrumento potente e versátil para a investigación e control de calidade a nivel industrial.
Características
- Máxima precisión, sensibilidade e resolución
- Gran alcance espectral: 190-2100 nm
- Deseño modular
- Paquete de software totalmente integrado
Información obtida
- Grosor de película delgada de 1Å a> 45μm (dependendo da absorción de material)
- Constantes ópticas (n, k) para películas isotrópicas, anisotrópicas e graduadas
- Superficie e rugosidade da interface
- Propiedades ópticas derivadas como coeficiente de absorción α e banda de banda óptica
- Propiedades do material: composición da aleación composta, porosidade, cristalinidade, morfoloxía, uniformidade
Equipamento instrumental
Elipsómetro Espectroscópico UVISEL HR460, Fabricante: Horiba Jobin Yvon
Características Técnicas
- Fonte de alimentación
- Detector
- Lámpada Xe de 75 W
- Polarizador (micro-spot head)
- Modulador (detection head)
- Mesa XY motorizada
A plataforma de software DeltaPsi2 proporciona un paquete completo de medición, modelado e xeración de informes que aborda tanto aplicacións rutineiras como avanzadas de películas delgadas.
Aplicacións
A elipsometría espectroscópica é ideal para unha ampla gama de aplicacións de películas delgadas de campos como:
- Semiconductores
- Enerxía solar
- Optoelectrónica
- Revestimentos ópticos e funcionáis
- Química de superficies
- Biotecnoloxía
- Caracterización de capas finas a gruesas, con ou sen substrato transparente
- Semicondutores
- Pantallas planas
- Fotovoltaica
Requisitos das mostras
As mostras deben estar en correctas condicións e por tanto non deben presentar restos de graxas, aceites, ou calquera composición que poñan en perigo a integridade do equipamento e deben ser non tóxicas ou daniñas.
A petición do solicitante as mostras poderán ser conservadas a temperatura ambiente (20 °C), en neveira (4 °C) ou conxelador (-18 °C) dependendo da súa estabilidade térmica.
Á finalización dos traballos, procederase á devolución das mostras ao solicitante no modo indicado por este na solicitude de servizo específica, se así fose requirido. As mostras non entregadas aos/as usuarios/as, conservaranse no Servizo polo período máximo dun ano. Pasado este tempo, as mostras serán eliminadas como residuos de laboratorio.
Máis información
Carmen Serra Rodríguez – Tatiana Padín Gómez – Paula Barbazán Martín
+34 986 813 882 – Fax: 986 812 135
cserra@uvigo.es – tatiana.padin@uvigo.es – pbarbazan@uvigo.es