Microscopía Dual-Beam

O Dual Beam emprega un dobre feixe: un de electróns, para adquirir imaxes típicas de Microscopía Electrónica de Varrido, e outro feixe de ións de Ga+, que posibilita tanto o desbastado de materiais como a súa deposición. A combinación de estas dúas columnas nun mesmo equipo permite tanto o estudo morfolóxico como a modificación do material a analizar. Ademais de estas dúas columnas, o equipo dispón dun sistema de inxección de gases e dun micromanipulador. Todos estes sistemas permiten a elaboración de lamelas para Microscopía Electrónica de Transmisión, por exemplo.

Grazas ao canón de electróns de emisión de campo, é posible caracterizar os materiais con imaxes de alta resolución obtidas a partir de electróns secundarios, retrodifundidos e transmitidos. Tamén se poden realizar estudos cristalográficos coa técnica de difracción de electróns retrodifundidos (EBSD) e análises da composición elemental das mostras mediante un sistema de dispersión de enerxías (EDS).

Outra técnica dispoñible é o sistema de catodoluminescencia, que permite analizar o espectro luminoso da radiación emitida por un material cando e bombardeado por un feixe de electróns.